拉奇纳米(图)-镀膜设备价格-镀膜设备

镀膜设备腔室维护完毕后，镀膜设备多少钱，开始抽真空，抽真空的时间为36～48小时，期间在腔室真空达到一定程度时，进行真空测漏，真空测漏没有问题并且腔室真空达到工艺条件后，就可以进行生产准备了。维护之前的破空（从真空状态回到大气状态）需要 2 个小时，之后再对所有需要吊装的阴极及泵舱吹水之后就可以进行舱室维护了。

镀膜设备生产特点来看，腔室中所有设备部件的检查、维修要集中在舱室维护期间进行，并且要保证这些装置工作的可靠性，否则，如果在正常生产期间出现问题，仅仅腔室破空和抽气就需要 40 多个小时，对生产的影响巨大。

玻璃镀膜设备的一个特点是生产的周期性，即“抽真空—真空状态生产—破空—腔室维护—抽真空”，这样周而复始进行。在生产状态下，溅射舱室内挡板及屏蔽板上沉积的溅射物逐渐增厚，会逐渐产生欠层、崩裂、脱落现象，掉落到玻璃上会影响玻璃的镀膜，造成缺陷，为此，就需要在掉落的溅射物造成的玻璃缺陷增多到一定程度时进行腔室维护，在连续的生产状态下，大约20天左右进行一次腔室维护。

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